CIF生產型等離子清洗機

簡要描述：CIF生產型等離子清洗機
CIF 推出的中試生產型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設計的等離子體表面處理設備。配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數生產場景清洗，活化、刻蝕等應用。設備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行，產品性能穩(wěn)定，樣品處理重復性、一致性好。

產品型號：CPC15/35/80/120/150
廠商性質：生產廠家
更新時間：2024-10-25
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CIF材料表面處理儀器

RIE反應離子刻蝕機 CIF等離子清洗機 CIF實驗室注射泵透射電鏡樣品桿真空存儲儀 CIF烤膠機 CIF勻膠機 CIF紫外臭氧清洗機 CIF透射電鏡樣品桿清洗機 CIF電鏡等離子清洗機 CIF粉體等離子清洗機

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詳細介紹

品牌	CIF	產地類別	國產
應用領域	環(huán)保,化工,能源,電子

產品特點

◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監(jiān)測工藝參數狀態(tài)，20 個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據。

◆ PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆ CIF生產型等離子清洗機采用質量流量計，氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統，可選多氣路氣體輸送系統?？奢斎胙鯕狻鍤?、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

◆ 采用多孔道進氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆ HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆ 316 不銹鋼真空艙，潔凈無污染。

◆ 全真空管路系統采用 316 不銹鋼材質。

◆ 處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。

◆ 合理的結構設計，設備占用空間小。

◆ 可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。

◆ 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

◆ 使用成本低、耗損小。

◆ 產品性能穩(wěn)定，安裝維護，簡單方便。

◆ 安全保護，艙門打開，自動關閉電源。

◆ 機器運行、停止提示。

CIF生產型等離子清洗機技術參數

型號	CPC15	CPC35	CPC80	CPC120	CPC150
艙體尺寸	W240xH240 xD260mm	W320xH320 xD350mm	W420xH400 xD500mm	W500xH500 xD450mm	W500xH500 xD600mm
艙體容積	15L	35L	80L	120L	150L
艙體材質	不銹鋼	不銹鋼	不銹鋼	不銹鋼	不銹鋼
有效尺寸	W240xD230mm	W320xD323mm	W420xD468mm	W500xxD420mm	W500xxD565mm
電極分布	2 層	3-4 層	6 層	8-10 層	10-15 層
射頻電源	13.56MHz	13.56MHz	13.56MHz	13.56MHz	13.56MHz
射頻功率	0-300W	0-300W	0-600W	0-1000W	0-1000W
匹配器	自動匹配器
激發(fā)方式	電容式
電流	1.2A
時間設定	9999 秒
氣體穩(wěn)定時間	1 分鐘
真空度	100pa 以內
控制系統	7 寸 PLC 觸摸屏控制
工藝氣體	2 氣路 MFC （可選裝 3 路）
產品尺寸	L625xW600 xH760mm	L625xW600 xH805mm	L905xW845 xH1940mm	L625xW600 xH760mm	L905xW845 xH2010mm
包裝尺寸	L740xW775 xH1000mm	L740xW775 xH1045mm	L1015xW1065 xH2050mm	L1015xW1065 xH2120mm	L1015xW1065 xH2120mm
真空泵	抽速約 8m3/h	抽速 16m3/h	抽速 40m3/h	抽速 60m3/h	抽速約 60m3/h
電源	AC220V 50/60Hz 552W	AC220V 50/60Hz 552W	AC380V 50/60Hz 902W	AC380V 50/60Hz 1302W	AC380V 50/60Hz 1302W
整機重量	108kg	135kg	465kg	485kg	575kg

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